高純氮氣的性質(zhì)
發(fā)布時間：2019-06-13來源：洛陽華普高純氣體點擊：4607
高純氮氣從字面意思來看就是一種氣體,，那么是什么樣的一種氣體呢？我們都不知道,，因為我們并沒有體驗過看見過,，所以今天我們高純氮氣小編就是給您介紹有關(guān)高純氮氣的一些事情，就是這種氣體的性質(zhì),，所以,，請跟我們高純氮氣小編一起來研究高純氮氣的性質(zhì),。
性質(zhì)：純度大于99.999%,。無色無臭無味無毒的惰性氣體。相對密度ds(21.1℃,，空氣=1)0.967,。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa),；液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa),。沸點-195.8℃。熔點-209.9℃,。氮氣純化方法主要有吸附法,、變壓吸附法、膜分離法等,。在集成電路,、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學(xué)氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣,，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣,。、
高純氮在外延,、光刻,、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換,、干燥,、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上,。在航天技術(shù)中,，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換,。
純化方法：氮氣純化方法主要有吸附法,、變壓吸附法、膜分離法等,。在生產(chǎn)中,，通常采用黑色鋼瓶盛放氮氣。