高純氯氣在微電子工業(yè)中的應用
發(fā)布時間：2021-12-13來源：洛陽華普高純氣體點擊：2791
高純氯氣在微電子工業(yè)中的應用
微電子工業(yè)的半導體器件和大規(guī)模集成電路的可靠性，在很大程度上取決于半導體表面的熱氧化,、等離子蝕刻,、晶體生長等技術,，而這些工藝過程則需使用高純氯氣，氯氣質(zhì)量的好壞會直接影響電子元器件的質(zhì)量,。
二氧化硅中的Na*是造成硅平面元件和MOS器件性能不穩(wěn)定的主要原因,。若在干氧化時摻入適量的高純氯氣，就能有效地消除Na,，從而大大改善MOS器件的電性能,。用氯氣進行二氧化硅的熱氧化和蝕刻是美國材料檢驗學會標準中規(guī)定的方法。
洛陽華普氣體科技有限公司作為地區(qū)專 業(yè)的高純氯氣氣體產(chǎn)品研發(fā)供應機構,，公司生產(chǎn)的各種不同類型的高純氦氣,、高純氧氣、高純笑氣等產(chǎn)品不僅質(zhì)量上乘,，而且產(chǎn)品純度高,，各種不同純度類型的產(chǎn)品都有，在實際的工業(yè)生產(chǎn)領域中有著廣泛的應用,，深受廣大需求廠家的好評,，值得信賴，歡迎前來選購,。