簡述高純笑氣的特點及作用
發(fā)布時間：2021-07-26來源：洛陽華普高純氣體點擊：4552
簡述高純笑氣的特點及作用
高純笑氣在集成電路,、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學氣相淀積時的載氣,，液體擴散源的攜帶氣,，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。笑氣在外延,、光刻,、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換,、干燥,、貯存和輸送用氣體。
顯像管制造中要求笑氣純度為99.99%以上,。在航天技術中,，液氫加注系統(tǒng)需要先用高純笑氣置換，再用高純氦置換,。笑氣是難液化的氣體,，在很低溫下會液化成無色液體，進一步降低溫度時,，更會形成白色晶狀固體,。在生產中，通常采用黑色鋼瓶盛放,。
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