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       乙硅烷是一種無機化合物,，其化學式為Si2H6，在常溫常壓下為無色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體,。它具有與硅烷類似的化學性質,，但其反應性比硅烷更強。它比硅烷更不穩(wěn)定,，在室溫緩慢分解成硅烷和氫,。在300～500℃分解成為SiH4、SinHm,、H2,，在光照下也分解。主要用于太陽能電池,、感光轉筒,、非晶硅膜、外延成長,、氧化膜,、氮化膜、化學氣相沉積等方面,。