乙硅烷
發(fā)布時(shí)間：2019-06-13來源：洛陽華普高純氣體點(diǎn)擊：7667
乙硅烷是一種無機(jī)化合物，其化學(xué)式為Si2H6,，在常溫常壓下為無色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體,。它具有與硅烷類似的化學(xué)性質(zhì)，但其反應(yīng)性比硅烷更強(qiáng),。它比硅烷更不穩(wěn)定,，在室溫緩慢分解成硅烷和氫。在300～500℃分解成為SiH4,、SinHm,、H2，在光照下也分解,。主要用于太陽能電池,、感光轉(zhuǎn)筒、非晶硅膜,、外延成長,、氧化膜、氮化膜,、化學(xué)氣相沉積等方面,。