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       乙硅烷是一種無機化合物，其化學式為Si2H6,，在常溫常壓下為無色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體,。它具有與硅烷類似的化學性質(zhì)，但其反應性比硅烷更強,。它比硅烷更不穩(wěn)定,，在室溫緩慢分解成硅烷和氫。在300～500℃分解成為SiH4,、SinHm,、H2，在光照下也分解,。主要用于太陽能電池,、感光轉筒、非晶硅膜,、外延成長,、氧化膜、氮化膜,、化學氣相沉積等方面。